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无锡卓海申请兼容型开放式晶圆盒装载装置专利可减少操作难度和出错概率

发布时间:2025-06-11 19:27:43        次浏览

  金融界 2025 年 5 月 5 日消息,国家知识产权局信息显示,无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“兼容型开放式晶圆盒装载装置”的专利,公开号 CN119905440A,申请日期为 2025 年 3 月。

  专利摘要显示,本发明涉及半导体设备技术领域,公开了一种兼容型开放式晶圆盒装载装置,包括支撑底板、晶圆盒定位组件、晶圆盒在位检测组件和晶圆凸出检测组件。上述兼容型开放式晶圆盒装载装置可以兼容不同规格的晶圆盒,在更换晶圆盒时,无需更换晶圆盒定位组件或调整其位置,无需调整晶圆盒在位检测组件的位置,无需调整晶圆凸出检测组件的位置,且无论是缺口型晶圆还是平边型晶圆,晶圆凸出检测组件均不受影响,只需将晶圆盒放置到支撑底板上对应位置,即可自动识别晶圆盒的规格,整个过程基本不需要人工参与和确认,从而减少了操作的难度和出错的概率,更利于后续机械手取放晶圆。

  天眼查资料显示,无锡卓海科技股份有限公司,成立于2009年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本7168.6725万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目86次,财产线条,此外企业还拥有行政许可42个。

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